一、簡(jiǎn)易得說(shuō)，這三個(gè)定義各自相匹配汽體的真空運(yùn)用機(jī)器設(shè)備類(lèi)型多種多樣，但不管哪種真空運(yùn)用機(jī)器設(shè)備都是有一套清除被抽容器內(nèi)汽體的抽真空系統(tǒng)軟件，便于在真空容器內(nèi)得到所必須的真空標(biāo)準(zhǔn)。打個(gè)比方：一個(gè)真空解決用的容器，用管路和閘閥將它與真空泵相互連接，當(dāng)真空泵對(duì)容器開(kāi)展抽時(shí)間時(shí)，容器上應(yīng)有真空測(cè)量設(shè)備，這就組成了一個(gè)非常簡(jiǎn)單的真空抽真空系統(tǒng)軟件。

非常簡(jiǎn)單的真空系統(tǒng)只有在被抽容器內(nèi)得到低真空范疇內(nèi)的真空度，當(dāng)必須得到高真空范疇內(nèi)的真空度時(shí)，一般在圖1所顯示的真空系統(tǒng)中串連一個(gè)高真空泵。當(dāng)串連一個(gè)高真空泵以后，一般要在高真空泵的入口和出入口各自再加閘閥，便于高真空泵能獨(dú)立維持真空。假如所串連的高真空泵是一個(gè)油擴(kuò)散泵，以便避免 很多的油蒸汽反流進(jìn)到被抽容器，一般在油擴(kuò)散泵的入口加一個(gè)捕集器——水冷散熱障板(如圖2所顯示)。依據(jù)規(guī)定，還能夠在管路中再加除塵設(shè)備、真空汽車(chē)?yán)^電器規(guī)頭、真空導(dǎo)電軟連接管路、真空泵入口排氣閥這些，那樣就組成了一個(gè)較健全的高真空系統(tǒng)。

但凡由2個(gè)之上真空泵串連構(gòu)成的真空系統(tǒng)，一般都把抽低真空的泵稱(chēng)為它上一級(jí)高真空泵的前面泵(或稱(chēng)外置泵)，而大一級(jí)的真空泵稱(chēng)為該真空系統(tǒng)的主閥，即它是最關(guān)鍵的泵，被抽容器中的極限真空度和工作中真空度就由主閥明確。被抽容器出入口到主閥入口中間的管路稱(chēng)之為高真空管路，主閥入口處的閘閥稱(chēng)主導(dǎo)閥。

一般前面泵又兼作予真空手壓泵。被抽容器到予抽泵中間的管路稱(chēng)之為予真空管路，該管路上的閘閥稱(chēng)之為予真空管路閥。主閥出入口到前面泵入口中間的管路稱(chēng)之為前面管路，該管路上的閘閥稱(chēng)之為前面管路閥，而導(dǎo)電軟連接管路是以便防護(hù)前面泵的震動(dòng)而設(shè)定的。

總起來(lái)說(shuō)，一個(gè)較健全的真空系統(tǒng)由以下元器件構(gòu)成：

1、抽真空機(jī)器設(shè)備：比如各種各樣真空泵

2、真空閘閥

3、聯(lián)接管路

4、真空測(cè)量設(shè)備：比如真空氣壓表、各種各樣規(guī)管

5、其他元器件：比如捕集器、除塵設(shè)備、真空汽車(chē)?yán)^電器規(guī)頭、空壓機(jī)儲(chǔ)氣罐等。

那麼，到底什么叫真空系統(tǒng)?用一句話(huà)來(lái)歸納，便是：用于得到有特殊規(guī)定的真空度的抽真空系統(tǒng)軟件。