無油真空泵工作原理常見的有三種，分別與容積泵、爪泵和低溫泵相似。

    無油真空泵工作原理一種是通過容積變化，在體積大的時候吸入空氣，在體積變小時(壓力變大)排出空氣，容積變化是靠著活動的機械部件來實現(xiàn)的，要求有很小的間隙并且有很高的精度，比如爪泵。

    另一種是依靠非常高的機械動轉(zhuǎn)速度，將空氣分子定向撞擊而攜帶走，如分子泵。三是低溫泵，在接近零度的冷面上，幾乎所有的空氣分子都被冷凍捕集在表面。

    無油真空泵大的有點是不返油，對被抽空間沒有油蒸汽污染，不噴油，沒有油蒸汽從泵口排出，不污染環(huán)境，屬于環(huán)保類產(chǎn)品，因此發(fā)展前景很好，被稱為二十一世紀(jì)“綠色真空泵”。

    無油真空泵又稱干式泵，主要包括旋片式、活塞式、螺桿式、渦旋式、渦輪式、爪型泵等等。

無油真空泵在日常使用和維護時，需要注意以下事項：

1、應(yīng)具有充分良好的通風(fēng)條件及低于40℃的環(huán)境溫度。

2、無灰塵及臟物的清潔場所。

3、無水、油等液體會降落到泵上。

4、不直接暴露在陽光里。

5、有足夠的周圍空間能便于泵的檢查，維護和裝拆。

6、泵必須安裝在平坦的平面上。

7、好將泵放在類似混凝土堅硬的地基上安裝，如果沒有條件，也可將泵牢固地安裝在鋼制或木制的機架上。

8、必須確保泵不因基礎(chǔ)不牢固而引起震動。

9、與泵連接管道不宜過長和小于泵進口徑，影響抽速，同是注意檢查真空連接管道有否漏氣。

10、接電線時，應(yīng)注意電機銘牌上的規(guī)定接線要求。三相電泵要注意電機旋轉(zhuǎn)方向應(yīng)與泵上的標(biāo)示箭頭方向一致。