無(wú)油真空泵的概念相當(dāng)久遠(yuǎn)，20世紀(jì)初世界上就已經(jīng)有了渦旋技術(shù)的zhuanli。但由于當(dāng)時(shí)技術(shù)水平的限制，渦旋無(wú)油真空泵機(jī)構(gòu)制造不出來(lái)，渦旋的概念也就被淡忘了。1973年渦旋機(jī)構(gòu)被重新提起并制造出一臺(tái)模型機(jī)構(gòu)，使這項(xiàng)技術(shù)實(shí)際應(yīng)用成為可能。渦旋機(jī)構(gòu)的可靠性高、運(yùn)行平穩(wěn)、噪音極低、節(jié)省能源等潛力和巨大優(yōu)勢(shì)馬上引起了冰箱行業(yè)的重視和迫切需求，大受行業(yè)領(lǐng)先者青睞，迅速被投入工業(yè)化應(yīng)用。Trance、Hitachi、Copland等著名公司的渦旋壓縮機(jī)技術(shù)與產(chǎn)品弓領(lǐng)了世界渦旋技術(shù)實(shí)用化的浪潮，帶動(dòng)了如冰箱、空調(diào)等諸多行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品的更新?lián)Q代。

　　今天渦旋技術(shù)已經(jīng)由初期的應(yīng)用在壓縮機(jī)行業(yè)推廣到真空泵制造業(yè)，實(shí)現(xiàn)了全無(wú)油真空泵、運(yùn)行更平穩(wěn)、噪音更低、更加節(jié)省能源的渦旋清潔真空獲得技術(shù)的實(shí)用化。人們應(yīng)用渦旋概念與原理制造出了對(duì)真空應(yīng)用儀器設(shè)備和環(huán)境沒(méi)有污染，并且抽速、壽命、能耗等指標(biāo)均優(yōu)于普通油泵的單級(jí)、雙級(jí)渦旋無(wú)油真空泵系列產(chǎn)品。

　　上個(gè)世紀(jì)90年代初，世界上首臺(tái)渦旋真空泵推向市場(chǎng)，渦旋技術(shù)由此開(kāi)始作為一種新型真空獲得技術(shù)在世界范圍內(nèi)被推廣應(yīng)用。到目前為止，世界上渦旋真空泵的生產(chǎn)廠家集中在美國(guó)、日本和歐洲，以日本的Anest1wata、美國(guó)的Varian、德國(guó)的Bush等為代表。產(chǎn)品包括了自0.25L／S-1OL／S系列產(chǎn)品，有些15L／S或更大抽氣量的產(chǎn)品也在試驗(yàn)階段。

    無(wú)油真空泵(0-Ifreescrollvacuumpump)的特點(diǎn)與應(yīng)用領(lǐng)域

　　清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境。自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開(kāi)始，人們就試圖采用不同手段達(dá)到清潔真空的效果。時(shí)至今日，清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品。在現(xiàn)有的無(wú)油真空泵當(dāng)中，渦旋無(wú)油真空泵與其他種類的無(wú)油真空泵相比具有運(yùn)行平穩(wěn)、噪音低、節(jié)省能源、重量輕、體積小的特點(diǎn)并已經(jīng)被廣泛應(yīng)用到下述科學(xué)研究與生產(chǎn)領(lǐng)域：半導(dǎo)體行業(yè)薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；真空冶金行業(yè)真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備；科學(xué)儀器行業(yè)同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器；醫(yī)療設(shè)備牙科儀器、透析機(jī)；生物制品行業(yè)材料提純、藥品制備；包裝行業(yè)食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。

渦旋無(wú)油真空泵工作原理、技術(shù)指標(biāo)以及與普通油泵的對(duì)比

　　渦旋無(wú)油真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤組成的一對(duì)渦旋盤付構(gòu)成了渦旋無(wú)油真空的基本抽氣機(jī)構(gòu)。例如在雙級(jí)渦旋無(wú)油真空泵中，有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的固定渦旋盤，一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤之間的轉(zhuǎn)動(dòng)渦旋盤。無(wú)油真空泵動(dòng)、靜渦旋盤相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。